Un contador de partículas que mide directamente las partículas suspendidas en una fase gaseosa o líquida en un estado de suspensión mediante el fenómeno de dispersión de luz ha sido ampliamente utilizado en lugares de fabricación de diversas industrias que requieren limpieza, ya que puede obtenerse fácilmente una sensibilidad de detección comparable con otros métodos y obtener resultados de medición de manera inmediata y continua.

El fenómeno de dispersión de luz de partículas, se obtuvo como una solución exacta a principios del siglo XX por G. Mie. Después de eso, se han estudiado muchas soluciones numéricas. La teoría de dispersión de luz de Mie ha sido reconocida como el principio básico de equipos que miden el tamaño o número de partículas suspendidas o en superficies porque puede explicar adecuadamente el fenómeno de dispersión de luz de una partícula y realizar un análisis cuantitativo. Por otro lado, Einstein, Debye o Lorentz estudiaron el fenómeno de dispersión de luz de líquidos como un método para obtener el comportamiento o propiedades físicas de moléculas líquidas o polímeros y lo sistematizaron gradualmente.

En el proceso de fabricación de dispositivos semiconductores de última generación, se deben detectar partículas muy pequeñas para controlar la contaminación. En particular, se requiere un control notable de la contaminación de partículas en materiales líquidos utilizados en un proceso húmedo, como la limpieza o la litografía. Actualmente, las partículas transportadas por líquidos se miden y controlan principalmente mediante un contador de partículas en liquido basado en un método de dispersión de luz. Para el comportamiento de dispersión de luz de las partículas, la intensidad de la luz dispersada disminuye rápidamente cuando el tamaño de las partículas es mucho más pequeño que su longitud de onda. Por lo tanto, la tecnología de detección de luz extremadamente débil se utiliza como una tecnología clave para detectar partículas ultrafinas mediante un fenómeno de dispersión de luz. Cuando se detecta una partícula de 10 nm de tamaño, se aprecia que el fenómeno de dispersión de luz del líquido, tiene una influencia significativa en las señales de detección de partículas.

Mostrando la relación relativa entre el fenómeno de dispersión de luz de partículas y el fenómeno de dispersión de luz por líquido, este artículo presenta un tema sobre la detección de partículas ultrafinas en líquido y describe la tecnología de detección de partículas, en la que se utiliza un fotodetector multicanal programado para la medición de las partículas en la solución polimérica, como un método para relacionar la luz dispersada de partículas con la luz dispersada por el líquido.